mems传感器是什么意思1、MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，即微电子机械系统。它是一种将微小机械装置集成到微电子器件上的技术，使得这些设备可以感知、控制和测量物理、化学和生物现象。2、MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mecha...